فوهات السيراميك الكهروضوئية عبارة عن أجزاء خزفية دقيقة لتوزيع الغاز والرش الكيميائي في التصنيع الكهروضوئي. يتم استخدامها في معدات CVD وPECVD، وأنظمة النقش الرطب-، وتجميعات التسليم ذات الصلة حيث تكون الفوهة جزءًا من مسار سائل العملية-.

المزايا الأساسية

دقة التجويف ±0.01 مم

دقة قطر التجويف هي ±0.01 مم. في مجموعة توزيع الغاز أو السائل متعددة-الفوهات، يؤدي التحكم في كل ممر إلى هذا النطاق إلى تقليل التباين بين الفوهات ودعم التدفق الأكثر اتساقًا عبر المصفوفة.

Ra أقل من أو يساوي 0.2 ميكرومتر من السطح الداخلي

خشونة السطح الداخلي هي Ra أقل من أو تساوي 0.2 ميكرومتر. يترك الجدار الأكثر سلاسة نقاطًا أقل لتجمع الجسيمات أو المخلفات الكيميائية داخل الممرات الضيقة، مما يساعد على إبطاء التقييد التدريجي لمسار التدفق.

مغلف العملية الساخنة والتآكل

الحد الأقصى لدرجة حرارة العمل هي 1200 درجة أو 1500 درجة حسب السيراميك المختار، والفوهات مخصصة لمقاومة معظم الغازات الحمضية والقلوية. ولذلك يمكن أن يعتمد اختيار المواد على كل من درجة حرارة التشغيل ووسط العملية.

التخصيص

مادة

خيارات المواد هي 99% من الألومينا وكربيد السيليكون.

واجهة الطول والتركيب

الطول الإجمالي مصنوع حسب رسم العميل. يمكن إضافة الأكتاف والفلنجات وتجويف التثبيت وتفاصيل تحديد الموقع الأخرى لتتناسب مع واجهة الجهاز.

هندسة المخرج والتدفق

يمكن أن يحدد الرسم أو النموذج الأولي المعتمد تخطيط التجويف، واتجاه المخرج، وهندسة الرش، وتكوينات الثقوب المتعددة.

تحديد

المعلمة	مواصفة
أنواع المواد	99% ألومينا، كربيد السيليكون
دقة قطر التجويف	± 0.01 ملم
خشونة السطح الداخلي (Ra)	أقل من أو يساوي 0.2μm
طول الفوهة	لكل رسم العميل
الأعلى. درجة حرارة العمل	1200 درجة (الألومينا) / 1500 درجة (كربيد السيليكون)
مقاومة التآكل	يقاوم معظم الغازات الحمضية والقلوية

ضبط الجودة

يتم فحص حجم التجويف بعد المعالجة. يتم أيضًا فحص الممر الداخلي بحثًا عن الانسداد وتلف الحواف وظروف السطح قبل أن تنتقل الفوهة إلى التحقق الوظيفي.

يؤكد اختبار التدفق أن الممر النهائي مفتوح ويقدم قناة متسقة. يتم فحص الأبعاد الخارجية وتفاصيل التثبيت وأوجه الغلق أو تحديد الموقع بشكل منفصل مقابل الرسم.

قبل التعبئة، يتم فحص الفوهات للتأكد من المظهر والكمية المقبولة والنظافة. تبقى سجلات الفحص مع الدفعة، ويمكن ترتيب -فحص طرف ثالث، ويتم فصل أطراف الفوهة والأوجه الدقيقة في العبوة.